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发明名称 DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS55107239(A) 申请公布日期 1980.08.16
申请号 JP19790014556 申请日期 1979.02.10
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KUSAKARI TERUO
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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