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发明名称
PROCESS FOR INCREASING THE SOLUBILITY RATE RATIO OF A POSITIVE-WORKING RESIST
摘要
申请公布号
EP0002105(B1)
申请公布日期
1981.01.14
申请号
EP19780300499
申请日期
1978.10.13
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
CAROTHERS, JAMES ALBERT;ECONOMY, JAMES;OUANO, AUGUSTUS CENIZA
分类号
H01L21/30;G03C1/72;G03F7/022;G03F7/30;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/06;(IPC1-7):03F7/08
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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