发明名称 METHOD OF OBTAINING PATTERN ON ALUMINIUM FILM
摘要
申请公布号 SU834805(A1) 申请公布日期 1981.05.30
申请号 SU19792826208 申请日期 1979.10.12
申请人 YAROVOJ VIKTOR D,SU 发明人 YAROVOJ VIKTOR D,SU
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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