发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS5676564(A) 申请公布日期 1981.06.24
申请号 JP19790153604 申请日期 1979.11.29
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SASAKI YOSHITAKA;OZAWA OSAMU
分类号 H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8226;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/08;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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