发明名称 |
METHOD OF PRODUCING INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5780744(A) |
申请公布日期 |
1982.05.20 |
申请号 |
JP19810144037 |
申请日期 |
1981.09.14 |
申请人 |
GENERAL ELECTRIC CO |
发明人 |
DARU MARIASU BURAUN;MARIO GETSUZO;KANGUURUNGU UONGU |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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