发明名称 |
METHOD OF PRODUCING INTEGRATED SEMICONDUCTOR CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS57124474(A) |
申请公布日期 |
1982.08.03 |
申请号 |
JP19810202389 |
申请日期 |
1981.12.14 |
申请人 |
SIEMENS SCHUCKERTWERKE AG |
发明人 |
ANDOREASU GURASURU |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/033;H01L21/331;H01L29/10 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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