发明名称 METHOD OF PRODUCING INTEGRATED SEMICONDUCTOR CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS57124474(A) 申请公布日期 1982.08.03
申请号 JP19810202389 申请日期 1981.12.14
申请人 SIEMENS SCHUCKERTWERKE AG 发明人 ANDOREASU GURASURU
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/331;H01L29/10 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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