| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57164986(A) |
申请公布日期 |
1982.10.09 |
| 申请号 |
JP19820029026 |
申请日期 |
1982.02.26 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
OKUDAIRA SADAYUKI;SUZUKI KEIZOU;SHIKAMATA ICHIROU |
| 分类号 |
C23F4/00;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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