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发明名称
SUPPORT OF RECTANGULAR SUBSTRATES OF VACUUM DEPOSITION UNIT
摘要
申请公布号
PL125052(B1)
申请公布日期
1983.03.31
申请号
PL19800223166
申请日期
1980.03.31
申请人
发明人
分类号
C23C;(IPC1-7):C23C13/08
主分类号
C23C
代理机构
代理人
主权项
地址
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