发明名称 SUPPORT OF RECTANGULAR SUBSTRATES OF VACUUM DEPOSITION UNIT
摘要
申请公布号 PL125052(B1) 申请公布日期 1983.03.31
申请号 PL19800223166 申请日期 1980.03.31
申请人 发明人
分类号 C23C;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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