| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUR KATHODENZERSTAEUBUNG EINES METALLES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3148354(A1) |
申请公布日期 |
1983.06.09 |
| 申请号 |
DE19813148354 |
申请日期 |
1981.12.07 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
PACHONIK,HORST,DIPL.-PHYS. |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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