| 发明名称 |
INRICHTING VOOR HET MET EEN IONENSTRAAL BEHANDELEN VAN SUBSTRATEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL173218(B) |
申请公布日期 |
1983.07.18 |
| 申请号 |
NL19770000799 |
申请日期 |
1977.01.26 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT TE BALZERS, LIECHTENSTEIN. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/317;H01L21/687;(IPC1-7):H01J37/20;H01J37/14;H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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