ETCHING METHOD OF SILICON PLATE,申请号JP19820023088-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ETCHING METHOD OF SILICON PLATE
摘要
申请公布号	JPS58141390(A)	申请公布日期	1983.08.22
申请号	JP19820023088	申请日期	1982.02.16
申请人	TOYODA CHUO KENKYUSHO KK	发明人	ITOU TADASHI;INAGAKI MASARU
分类号	C23F4/00;C23F1/00	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
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