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发明名称 AUTOMATICALLY FOCUSING AND MEASURING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 JPS58181005(A) 申请公布日期 1983.10.22
申请号 JP19830055341 申请日期 1983.04.01
申请人 EATON CORP 发明人 TOO GUROOZU RAASEN
分类号 G02B7/28;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 主分类号 G02B7/28
代理机构 代理人
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