| 摘要 |
포토리소그래피 프로세스들을 수행하기 위한 시스템들 및 장치가 설명된다. 시스템 및 장치는, 레이저 광을 방출할 수 있는 광 소스; 레이저 광을 굴절시키도록 포지셔닝된 미러; 레이저 광을 반사시키도록 구성된 미러들의 어레이(또는 디지털 마이크로-미러 디바이스); 레이저 광을 굴절시키도록 구성된 렌즈; 레이저 광이 지향되는 기판을 지지할 수 있는 스테이지 ― 스테이지는 X 방향으로 이동하도록 구성됨 ―; 및 미러들의 어레이의 각각의 미러의 각도를 제어하도록 구성된 제어기를 포함할 수 있으며, 미러들의 어레이는, X 방향으로 정렬된 제 1 개수의 미러들, 및 X 방향에 대해 실질적으로 수직인 Y 방향으로 정렬된 제 2 개수의 미러들을 포함하고, 제 2 개수는 제 1 개수보다 더 크다. |
