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Elektronenbestrahlungseinheit (1), welche eine Elektronenerzeugungseinheit (2) und einen Strahlfinger (3) umfasst, wobei am von der Elektronenerzeugungseinheit (2) abgewandten Ende des Strahlfingers (3) ein Elektronenaustrittsfenster (4) angeordnet ist, wobei der Strahlfinger (3) eine innere Wandung (11, 16, 19) und eine äußere Wandung (12, 17, 20) aufweist, zwischen denen sich ein Zwischenraum (13) befindet, in den ein Gasstrom einkoppelbar ist, wobei sich der Zwischenraum (13) zu einer um, am oder neben dem Elektronenaustrittsfenster (4) angeordneten Gasaustrittsöffnung (14) hin öffnet, wobei der Zwischenraum (13) und die Gasaustrittsöffnung (14) so ausgebildet sind, dass der Gasstrom in Richtung vom Strahlfinger (3) weg aus der Gasaustrittsöffnung (14) austritt. |
