发明名称 SEMICONDUCTOR IC DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS5931052(A) 申请公布日期 1984.02.18
申请号 JP19820139932 申请日期 1982.08.13
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 YASUOKA HIDEKI;TANIZAKI YASUNOBU;MURAMATSU AKIRA;ANZAI NORIO
分类号 H01L29/78;H01L21/76;H01L21/8249;H01L27/00;H01L27/06;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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