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发明名称 ION BEAM COAXIAL MECHANISM
摘要
申请公布号 JPS5997100(A) 申请公布日期 1984.06.04
申请号 JP19820207369 申请日期 1982.11.26
申请人 SEIKO DENSHI KOGYO KK 发明人 YASUTAKE MASATOSHI
分类号 G21K1/087;G21K1/08;H05H7/00 主分类号 G21K1/087
代理机构 代理人
主权项
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