发明名称 SLURRY DRIP-FEEDING APPARATUS
摘要
申请公布号 IN154492(B) 申请公布日期 1984.11.03
申请号 IN1982CA46819 申请日期 1982.04.27
申请人 HITACHI LTD. 发明人 KAMOSHIDA TOMATSU;ITSUMI FUMIHIKO;UCHIDA YASUAKI
分类号 (IPC1-7):H01L7/68 主分类号 (IPC1-7):H01L7/68
代理机构 代理人
主权项
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