一种绝对波长标定和校准装置及其方法

摘要

本发明公开了一种绝对波长标定和校准装置及其方法，用于准分子激光器绝对波长的标定和校准，该装置按光路方向顺次包括第一正透镜(1)、匀化片(2)、第二正透镜(3)、第一半透半反镜片(4a)和第二半透半反镜片(4b)、不同元素制成的第一空心阴极灯(5a)和第二空心阴极灯(5b)、第三正透镜(6a)和第四正透镜(6b)、第一滤光片(7a)和第二滤光片(7b)、第一紫外光电探测器件(8a)、第二紫外光电探测器件(8b)和第三紫外光电探测器件(8c)，该方法采用两个分别填充不同元素的空心阴极灯，基于两种不同元素发出的至少两条193nm附近高吸收强度原子吸收线的方法来进行激光器绝对波长的标定和校准，利用两条强原子吸收线处产生的高对比度信号变化量，来提高绝对波长标定和校准的精度，并可能降低对探测电路精度的要求。

主权项

一种绝对波长标定和校准装置，用于准分子激光器绝对波长的标定和校准，该装置按光路方向顺次包括第一正透镜(1)、匀化片(2)、第二正透镜(3)、第一半透半反镜片(4a)和第二半透半反镜片(4b)、不同元素制成的第一空心阴极灯(5a)和第二空心阴极灯(5b)、第三正透镜(6a)和第四正透镜(6b)、第一滤光片(7a)和第二滤光片(7b)、第一紫外光电探测器件(8a)、第二紫外光电探测器件(8b)和第三紫外光电探测器件(8c)。