发明名称 Cleaning agent for mechanically worked semiconductor materials.
摘要 Ein wäßrig-alkalisches, tensidhaltiges Reinigungsmittel, das als Reinigungszusatz Fettaminethoxylate enthält, eignet sich in hervorragender Weise als Reinigungsmittel für mechanisch bearbeitete Halbleitermaterialien.
申请公布号 EP0148317(A1) 申请公布日期 1985.07.17
申请号 EP19840108731 申请日期 1984.07.24
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人 URBAN, MANFRED, DR.
分类号 H01L21/308;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302;C11D1/44 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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