| 发明名称 | 装有消色差λ/4波片的光谱椭圆偏振仪 | ||
| 摘要 | 装有消色差波片的光谱椭圆偏振仪是偏振光计量仪器，用来测量多种波长下薄膜的折射率n(λ)。膜厚d或吸收系数k(λ)。装有消色差λ/4波片的光谱椭圆偏振仪与其它椭圆偏振仪、光谱椭圆偏振仪所不同的特征是装有做为消色差λ/4波片的菲涅尔棱镜(斜方棱镜)，菲涅尔棱镜是装在起偏器和供装被测薄膜样品的可调平台之间，光束入射的棱镜表面与入射的光束相垂直，它的位相延迟量在光谱范围内的名义值是90℃。 | ||
| 申请公布号 | CN85200356U | 申请公布日期 | 1985.09.10 |
| 申请号 | CN85200356 | 申请日期 | 1985.04.01 |
| 申请人 | 北京工业学院 | 发明人 | 哈流柱 |
| 分类号 | G01J4/00 | 主分类号 | G01J4/00 |
| 代理机构 | 北京工业学院专利代理事务所 | 代理人 | 张朝元 |
| 主权项 | 1、装有消色差λ/4波片的光谱椭圆偏振仪，其特征在于：装有作为消色差λ/4波片的菲涅尔棱镜(Fresnel Prism，斜方棱镜)，菲涅尔棱镜是装在起偏器和供装被测薄膜样品的可调平台之间，光束入射的棱镜表面与入射的光束相垂直，它的位相延迟量在光谱范围内的名义值是90°。 | ||
| 地址 | 北京市西郊白石桥路7号 | ||