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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6046274(B2) 申请公布日期 1985.10.15
申请号 JP19760146622 申请日期 1976.12.08
申请人 ULVAC CORP 发明人 ISOZAKI SHOTARO;MURATA NOBUYOSHI
分类号 F04C25/02 主分类号 F04C25/02
代理机构 代理人
主权项
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