| 主权项 |
一种调液控制装置,备有:检出储留于槽内之一定溶液之浓度而输出表示该浓度之讯号之浓度计;设定对上述槽内溶液之浓度目标値之目标値设定装置;算出来自上述浓度计之检出値与来自目标値设定装置之设定目标値之偏差之运算装置;将运算装置输出之来自浓度计之检出値与一个设定目标値之偏差,于每一设定期间予以积分之积分装置;根据上述运算手段之输出将上述槽内溶液之浓度调整为一定范围内之第1浓度调整手段;及根据上述浓度计所实测之检出値与一个上述设定目标値之偏差之比例値,及由积分运算装置所运算之一定期间内之积分値,将上述槽内溶液浓度予以微调整,使其成为上述设定目标之第2浓度调整装置,其特征为:上述第2浓度调整装置备有将上述积分运算手段之输出中,一定范围内之积分値,与上述设定目标値一起记忆之记忆装置,而且从上述记忆手段之中读出在该调液控制装置之前次运转时被记忆之积分値之中,对应于上述设定目标値之积分値,根据该读出之积分値开始微调液控制,并根据来自上述积分运算装置之各积分値继续进行该微调液控制,使得上述槽内溶液之浓度成为上述设定目标値。 |
