VERFAHREN UND VORRICHTUNG FUER DAS ERSCHMELZEN UND FUER DAS AUFDAMPFEN VON HOCHREINEM SILIZIUM,申请号DE19853525177-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG FUER DAS ERSCHMELZEN UND FUER DAS AUFDAMPFEN VON HOCHREINEM SILIZIUM
摘要
申请公布号	DE3525177(A1)	申请公布日期	1986.01.23
申请号	DE19853525177	申请日期	1985.07.15
申请人	WEDTECH CORP.	发明人	PINKHASOV,EDUARD
分类号	C01B33/02;C23C14/14;C23C14/24;C23C14/26;C30B15/10;C30B15/14;C30B23/02;C30B23/06;C30B29/06;H05B7/20;(IPC1-7):C30B29/06;C30B35/00;H01L21/203	主分类号	C01B33/02
代理机构		代理人
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