发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING A PLANAR FIELD-EFFECT TRANSISTOR HAVING A SUPPLEMENTARY BURIED GATE
摘要
申请公布号 EP0091342(B1) 申请公布日期 1986.02.26
申请号 EP19830400604 申请日期 1983.03.23
申请人 THOMSON-CSF 发明人 JAY, PAUL ROBERT;RUMELHARD, CHRISTIAN
分类号 H01L29/80;H01L21/027;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/60;H01L29/64;H01L21/28 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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