主权项 |
1.一种非电解镀铜液,包含,(a)铜离子0.004-0.2莫耳/ ,铜离子之错化剂0.04-1莫耳/、还原剂0.01-0.25莫耳/、以及pH调整剂,达成pH11.0-13.5需要量,(b)由通式或-(O-CF2-CF2)p-(O-CF2)q-[式中, 、m为零或正数(但不包括 、m同时为零),n、p、q为正数]代表且具有分子量500-50,000之全氟聚醚0.01㎎/ 以上,(c)氰基化合物2-200㎎/ 、、'-联 啶5-300㎎/ 、以及1,10-二氮杂菲(phenanth-roline)类5-300㎎/ 中之至少一种者。2.如请求专利部份第1.项记载之非电解镀铜液,其中,聚醚为至少一种由通式(式中,r、s、t、u为正数)代表之全氟聚醚者。 |