| 摘要 |
<p>Dispositif à interstice variable comprenant un matériau adapté (12), comportant une cavité (13) à l'intérieur et monté sur un corps (10). Soit le matériau (12) soit le corps (10) est déformable. Des éléments (11, 14) sont formés à la surface du corps (11) et sur la surface supérieure de la cavité (13). Dans un mode de réaliation, les éléments (12, 14) sont les électrodes d'un dispositif à capacitance variable, et dans une variante les éléments (12, 14) sont des réflecteurs renvoyant partiellement ou totalement la lumière incidente provenant d'une fibre optique (80). La surface de la cavité opposée au corps est de préférence plate et est écartée du corps (11) de quelques microns. Le dispositif est fabriqué en formant une couche amovible (22) sur un substrat temporaire (20). Une configuration appropriée d'éléments (23) est formée sur la couche amovible (22) et la couche est gravée selon une configuration définissant la cavité (13). Le matériau déformable (12) est encapsulé sur cette structure et éloigné ensuite du substrat (20), l'élément (14) restant dans la cavité. Tout matériau amovible (23) restant dans la cavité peut être éliminé par gravure.</p> |
