NbBN复合涂层及其制备方法

摘要

本文发明公开了一种NbBN复合涂层及其制备方法，是在室温下采用双靶共焦射频反应磁控溅射法溅射在硬质合金或陶瓷基体上制备得到的，厚度为1.5‑2.5μm，B成分为0‑9.65at.％，Nb成分为49.43‑58.92at.％、N成分为39.8‑41.2at.％以及余量的O。本发明进一步提高NbN涂层的力学性能、抗腐蚀性能和耐磨损性能，使其成为具有优异的综合性能的保护涂层，以便在高速、干式切削和防腐蚀等领域中有更广泛的应用。

主权项

一种NbBN复合涂层，其特征在于在室温下采用双靶共焦射频反应磁控溅射法溅射在硬质合金或陶瓷基体上制备得到的，厚度为1.5‑2.5μm，B成分为0‑9.65at.％，Nb成分为49.43‑58.92at.％、N成分为39.8‑41.2at.％以及余量的O；当Nb靶功率为200W，B靶功率为40W时，NbBN复合涂层在室温下同时具有高的显微硬度、高的弹性模量、高的自腐蚀电位以及低的自腐蚀电流密度；当Nb靶功率为200W，B靶功率为60W时，具有在室温到500℃干摩擦下低的磨损率。