减小工业机器人精密齿轮变形的真空辉光离子渗氮工艺

摘要

本发明公开了一种减小工业机器人精密齿轮变形的真空辉光离子渗氮工艺，属于热处理技术领域。本发明的步骤为：1)零件制备：对齿轮零件坯料进行调质，使硬度达到31～32.5HRC；2)前清洗：对齿轮零件进行清洗；3)零件装夹：将齿轮零件采用工装装夹成齿轮组合件；4)装炉：将上述的齿轮组合件均匀地呈封闭的圆环状布置在阴极盘上，并盖上炉罩；5)渗氮：采用阶梯升温保温方式将齿轮零件升温到渗氮温度，且自室温升温到渗氮温度的时间控制在3.5～4小时；6)随炉冷却：在炉内温度小于等于95℃时开炉。本发明有效减小了精密齿轮渗氮热处理后的变形，并满足了该齿轮热处理技术要求，一次热处理合格率达100％。

主权项

一种减小工业机器人精密齿轮变形的真空辉光离子渗氮工艺，其特征在于，包括以下步骤：(1)零件制备：对42CrMoH或35CrMo坯料进行调质，使坯料硬度达到31～32.5HRC，然后将坯料机加工为齿轮零件；(2)前清洗：对装入料筐内的齿轮零件进行清洗，清除齿轮零件表面残留的污物；(3)零件装夹：将一件以上的齿轮零件采用工装装夹成齿轮组合件，使工装夹持住齿轮零件的两个端平面；(4)装炉：将步骤(3)中的齿轮组合件均匀地呈封闭的圆环状布置在阴极盘上，并盖上炉罩；(5)真空辉光离子渗氮：采用阶梯升温保温方式逐渐将齿轮零件升温到渗氮工艺温度，且自室温升温到渗氮工艺温度的时间控制在3.5～4小时；(6)随炉冷却：渗氮结束后，齿轮零件在真空状态下随炉冷却，且在炉内温度小于等于95℃时开炉。