Process for the reactive deposition, activated by glow discharge, of an electrical conductor material from a gas phase.

摘要

Zur reaktiven Abscheidung von rohrförmigen Körpern aus elektrisch leitendem Material aus einer strömenden Gasphase auf einem rohrförmigen Substrat wird zwischen einer Innenelektrode 6 und einer Außenelektrode 2, von denen eine rohrförmig ausgebildet ist und als Substrat dient, eine Glimmentladung 11 erzeugt. Es wird dadür gesorgt, daß die Elektroden nicht durch aufwachsende elektrisch leitfähige Oberflächenschichten kurzgeschlossen werden und so die Glimmentladung erlischt. Außerdem wird die elektrisch leitfähige Schicht auf der nicht als Substrat dienenden Elektrode isolierend unterbrochen, um die Glimmentladung lokal zu beschränken, und es wird, z.B. durch eine Gasbarriere, ein elektrisch leitender Bewuchs auf der Isolation verhindert. Die Glimmentladung wird während der Abscheidung hin- und herbewegt.