| 发明名称 |
SPUTTERING TARGET SUPPORTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0124075(B1) |
申请公布日期 |
1986.12.17 |
| 申请号 |
EP19840104644 |
申请日期 |
1984.04.25 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
KAWAGUCHI, TATSUZO;KOYAMA, MITSUTOSHI |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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