发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS624338(A) 申请公布日期 1987.01.10
申请号 JP19850141499 申请日期 1985.06.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KITAHARA KOICHI;OHATA TAMOTSU
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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