| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PREPARATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6217656(A) |
申请公布日期 |
1987.01.26 |
| 申请号 |
JP19850155193 |
申请日期 |
1985.07.16 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YASUNAGA YUJIRO;ISHII TETSUO;YAMAKI FUMISHIROU |
| 分类号 |
G01K7/22;B01D15/08;G01N30/60;G01N37/00 |
主分类号 |
G01K7/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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