ELECTRON BEAM RESIST COMPOSITION AND FORMING METHOD OF RESIST PATTERN,申请号JP19850180822-传众专利搜索

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发明名称	ELECTRON BEAM RESIST COMPOSITION AND FORMING METHOD OF RESIST PATTERN
摘要
申请公布号	JPS6240725(A)	申请公布日期	1987.02.21
申请号	JP19850180822	申请日期	1985.08.17
申请人	OKI ELECTRIC IND CO LTD;FUJI YAKUHIN KOGYO KK	发明人	ITO TOSHIO;YAMASHITA YOSHIO;KAWAZU TAKAHARU;ASANO TAKATERU;KOBAYASHI KENJI
分类号	C08F12/00;C08F12/22;H01L21/027;H01L21/30	主分类号	C08F12/00
代理机构		代理人
主权项
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