发明名称 ELEKTRONENSTRAHLERZEUGER MIT EINER DIREKT UND EINER INDIREKT BEHEIZBAREN KATODE
摘要
申请公布号 DE3534792(A1) 申请公布日期 1987.04.02
申请号 DE19853534792 申请日期 1985.09.30
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH 发明人 KRAFT,REINHARD;RANKE,HORST,DR.
分类号 C23C14/30;H01J1/20;H01J3/02;H01J37/06;H01J37/075;(IPC1-7):H01J37/065;H01J1/18;H01J1/26 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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