发明名称 |
ELEKTRONENSTRAHLERZEUGER MIT EINER DIREKT UND EINER INDIREKT BEHEIZBAREN KATODE |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3534792(A1) |
申请公布日期 |
1987.04.02 |
申请号 |
DE19853534792 |
申请日期 |
1985.09.30 |
申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
KRAFT,REINHARD;RANKE,HORST,DR. |
分类号 |
C23C14/30;H01J1/20;H01J3/02;H01J37/06;H01J37/075;(IPC1-7):H01J37/065;H01J1/18;H01J1/26 |
主分类号 |
C23C14/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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