| 发明名称 |
APPARATUS FOR INSPECTING DEGREE OF ALIGNMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6281553(A) |
申请公布日期 |
1987.04.15 |
| 申请号 |
JP19850222137 |
申请日期 |
1985.10.04 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
TAKAHASHI KATSUNORI;NAKAMURA KOICHI;MOTOYAMA JIYUNSHIROU |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;G01R31/26;H05K13/08 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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