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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR VAPOR GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPS6291497(A)
申请公布日期
1987.04.25
申请号
JP19850231646
申请日期
1985.10.16
申请人
NEC CORP
发明人
KATOU YOSHITAKE
分类号
C30B29/40;C30B25/14;H01L21/205
主分类号
C30B29/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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