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发明名称 METHOD FOR MAKING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING A THICK FIELD DIELECTRIC AND A SELF-ALIGNED CHANNEL STOPPER
摘要
申请公布号 EP0111097(B1) 申请公布日期 1987.05.27
申请号 EP19830110129 申请日期 1983.10.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BADAMI, DINESH ARVINDLAL;BERGENDAHL, ALBERT STEPHEN;HAKEY, MARK CHARLES
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/762;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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