| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRONISCHEN VORRICHTUNG MIT EINER VIELSCHICHTIGEN STRUKTUR UND EINE DADURCH ERHALTENE ELEKTRONISCHE VORRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3644652(A1) |
申请公布日期 |
1987.07.23 |
| 申请号 |
DE19863644652 |
申请日期 |
1986.12.29 |
| 申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
KANAI,MASAHIRO;HANNA,JUN-ICHI;SHIMIZU,ISAMU |
| 分类号 |
H01L31/04;C23C16/22;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/50;G03G5/08;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/205;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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