| 摘要 |
Um das Reflexionsspektrum eines reflektiven optischen Elements für den EUV-Wellenlängen einstellen zu können oder es zu Wellenfrontkorrekturen einsetzen zu können, wird ein reflektives optisches Element (30) mit Substrat (32a, b, c) und reflektiver Beschichtung (34a, b, c) vorgeschlagen, dass mindestens ein Yttriumhydrid aufweist. Durch Beaufschlagung mit atomarem Wasserstoff (H*) kann die stöchiometrische Zusammensetzung des mindestens einen Yttriumhydrids und damit die Dicke einer dieses enthaltenden Schicht verändern. |
