| 主权项 |
1.一种高纯度氮气制造系统,系由:将取自外部之空气加以压缩之一空气压缩手段;将此空气压缩手段所压缩之压缩空气中之二氧化碳及水加以去除之一去除手段;将经过此去除手段之压缩空气冷却至超低温之一热交换手段;将此热交换手段所冷却至超低温之压缩空气之一部份加以液化使其积存于内部而仅将氮以气体状态保持之一氮精馏塔,用以贮存液体氮之一液体氮贮存手段;将此液体氮贮存手段内之液体氮引导至上述氮精馏塔作为压缩空气液化用冷媒之第1导入管路;将上述液体氮贮存手段内之液体氮引导至上述热交换手段作为该热交换手段之冷媒之第2导入管路;及将保持于上述氮精馏塔内之气化氮作为制品氮气由该氮精馏塔取出之一氮气取出管路,构成为特征者。2.如请求专利部份第1.项所述之高纯度氮气制造系统,其特征乃在于上述氮气取出管路中配设内装有可在超低温下选择的吸附氧及一氧化碳之吸附剂之一吸附手段者。3.请求专利部份第2.项所述之高纯度氮气制造系统,其中该吸附手段系一种装填有孔径约3A、4A或5A之合合成沸石之氧吸附筒者。4.如请求专利部份第1.项所述之高纯度氮气制造系统,其特征乃在设置有:以液体空气为对象,利用氮及氧之沸点差而将该两者分离之氧精馏塔,将上述氮精馏塔内之积存液体空气供给至上述氧精馏塔内之液体空气供给管,及将上述氧精馏塔内所分离之氧以气体状态取出之制品氧气取出管路。5.如请求专利部份第1.项所述之高纯度氮气制造系统,其特征乃在设置有:一将积存于上述氮精馏塔内之压缩空气液化物或其气化物等流体输送至外部之排放管路,于此排放管路中设置内部装填有一种可选择的吸附氮之吸附剂之吸附筒,及于此吸附筒接装一可将去除氮后之流体取出之取出管路。 |
