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发明名称
摘要
申请公布号 JPS62176720(U) 申请公布日期 1987.11.10
申请号 JP19860065815U 申请日期 1986.04.28
申请人 发明人
分类号 H01L41/08;G01D5/14;G01P15/09;(IPC1-7):G01D5/14 主分类号 H01L41/08
代理机构 代理人
主权项
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