Abschirmvorrichtung zum Abschirmen von elektromagnetischer Strahlung

摘要

Abschirmvorrichtung zum Abschirmen von elektromagnetischer Strahlung mit: einem Abschirm-Bodenelement (BE); einem Abschirm-Deckelelement (DE); und einem Abschirm-Seitenelement (SE), welches das Bodenelement (BE) mit dem Deckelelement (DE) elektrisch verbindet, wobei das Abschirm-Bodenelement aus einem Abschnitt eines hochdotierten Halbleitersubstrats (1) besteht und ein abzuschirmender Schaltungsteil (HF) innerhalb der Abschirmelemente in einer auf dem Halbleitersubstrat (1) epitaktisch abgeschiedenen Halbleiterschicht (2) ausgebildet ist, und das Halbleitersubstrat (1) für das Abschirm-Bodenelement (BE) einen Widerstandswert kleiner 15 mOhmcm aufweist.