发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6379327(A) 申请公布日期 1988.04.09
申请号 JP19860223550 申请日期 1986.09.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 HANABUSA YOSHIAKI;TAKAHASHI TAKAHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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