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发明名称 APPARATUS FOR REGENERATING AN AMMONIACAL ETCHING SOLUTION
摘要
申请公布号 DE3376853(D1) 申请公布日期 1988.07.07
申请号 DE19833376853 申请日期 1983.11.08
申请人 KERNFORSCHUNGSANLAGE JULICH GESELLSCHAFT MIT BESCHRANKTER HAFTUNG 发明人 FAUL, WOLFGANG;FURST, LEANDER;HOLZER, WALTER;KASTENING, BERTEL, PROF. DR.
分类号 C23F1/46;(IPC1-7):C23F1/46 主分类号 C23F1/46
代理机构 代理人
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