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发明名称 NEGATIVE PHOTORESIST SYSTEMS
摘要
申请公布号 IL74073(A) 申请公布日期 1988.07.31
申请号 IL19850074073 申请日期 1985.01.16
申请人 ROHM AND HAAS COMPANY 发明人
分类号 C08L79/08;C08L79/04;G03C5/00;G03F7/004;G03F7/008;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/68 主分类号 C08L79/08
代理机构 代理人
主权项
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