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发明名称 TRAY FOR PROCESSING SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPS63198316(A) 申请公布日期 1988.08.17
申请号 JP19870311159 申请日期 1987.12.10
申请人 INCO ALLOYS INTERNATL INC;APPLIED MATERIALS INC 发明人 GEIROODO DEII SUMISU;UEI KUWAN CHIYAN;CHIYAARUZU ENU DOONFUESUTO
分类号 C22C19/05;H01L21/00;H01L21/02 主分类号 C22C19/05
代理机构 代理人
主权项
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