发明名称 |
TESTING APPARATUS FOR AIRTIGHT SEALING |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS6415626(A) |
申请公布日期 |
1989.01.19 |
申请号 |
JP19870171615 |
申请日期 |
1987.07.09 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
FUJIHIRA MITSUAKI;NISHIGUCHI KATSUNORI |
分类号 |
G01M3/32;G01M3/00;H01L21/66;H01L23/02 |
主分类号 |
G01M3/32 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|