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发明名称 MANUFACTURING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6415372(A) 申请公布日期 1989.01.19
申请号 JP19870172137 申请日期 1987.07.09
申请人 NEC CORP 发明人 TONAI KEIICHIRO
分类号 H01L21/203;C23C14/50 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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