| 发明名称 |
PREPARATION OF COMPOSITION MODIFIED NITRIDED ALLOY FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6415366(A) |
申请公布日期 |
1989.01.19 |
| 申请号 |
JP19870171397 |
申请日期 |
1987.07.09 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SAKAKIMA HIROSHI;OSANO KOICHI;KOMATA YUJI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/06;C23C14/14 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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