| 发明名称 |
VENTILATION METHOD FOR SEMICONDUCTOR VAPOR GROWTH SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6415373(A) |
申请公布日期 |
1989.01.19 |
| 申请号 |
JP19870169888 |
申请日期 |
1987.07.09 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
KOMURA YUKIO;KOAIZAWA HISASHI;YOSHIHAMA SHOJI |
| 分类号 |
C23C16/18;C23C16/00;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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